東元伺服100W200W電機分別在LED固晶機上的應用
發(fā)布日期：2016-04-12 瀏覽次數：710
隨著IT產業(yè)和半導體行業(yè)的發(fā)展，集成電路市場呈現(xiàn)穩(wěn)定增長趨勢。一方面，固晶機等半導體設備在市場上需求越來越大，另一方面，LED產業(yè)的蓬勃發(fā)展對LED生產設備的要求也越來越高，與此同時，IPC技術的快速發(fā)展為滿足以上需求提供了保證。
LED固晶機系統(tǒng)結構主要包括運動控制模塊、氣動部分、機器視覺部分和由伺服電機構成的運動執(zhí)行機構，在這里注明伺服電機是東元伺服電機。
固晶機上總共采用4套200W東元伺服（JSDA-15A搭配JSMA-SC02ABK）和2套100W東元伺服(JSMA-15A搭配JSMA-SC01ABK)，分別控制X,Y軸傳動機構以及鍵合臂取晶動作。其中要求最高的為控制鍵合臂的100W東元伺服。
100W東元伺服電機通過同步帶帶動連桿快速正反轉實現(xiàn)裝有吸晶咀的鍵合臂做逆時針和順時針方向位移，逆時針到位后吸晶咀吸取晶元然后順時針固定晶圓。此動作要求：1.快速定位時，馬達要平穩(wěn)，不能抖動，否則吸晶和固晶的位置會不準確；2.客戶要求每個動作周期盡量的快，由此對伺服的響應有較高要求。
通過伺服增益參數的調整，最終可以實現(xiàn)鍵合臂伺服在3msec內完成整定，整個固晶周期為245msec/顆，獲得客戶的認可。
固晶機作為一個新興行業(yè)應用的代表，有著較高的技術門檻。東元伺服在固晶機的成功應用，則充分彰顯了東元伺服的優(yōu)良性能。
LED固晶機系統(tǒng)結構主要包括運動控制模塊、氣動部分、機器視覺部分和由伺服電機構成的運動執(zhí)行機構，在這里注明伺服電機是東元伺服電機。
固晶機上總共采用4套200W東元伺服（JSDA-15A搭配JSMA-SC02ABK）和2套100W東元伺服(JSMA-15A搭配JSMA-SC01ABK)，分別控制X,Y軸傳動機構以及鍵合臂取晶動作。其中要求最高的為控制鍵合臂的100W東元伺服。
100W東元伺服電機通過同步帶帶動連桿快速正反轉實現(xiàn)裝有吸晶咀的鍵合臂做逆時針和順時針方向位移，逆時針到位后吸晶咀吸取晶元然后順時針固定晶圓。此動作要求：1.快速定位時，馬達要平穩(wěn)，不能抖動，否則吸晶和固晶的位置會不準確；2.客戶要求每個動作周期盡量的快，由此對伺服的響應有較高要求。
通過伺服增益參數的調整，最終可以實現(xiàn)鍵合臂伺服在3msec內完成整定，整個固晶周期為245msec/顆，獲得客戶的認可。
固晶機作為一個新興行業(yè)應用的代表，有著較高的技術門檻。東元伺服在固晶機的成功應用，則充分彰顯了東元伺服的優(yōu)良性能。
在線客戶-蔣經理
在線客戶-蔣先生
